南大光电孵化自国家863计划的MO源研究课题组，2000年实现相关技术突破(同年公司成立)，是国内首家MO源自主生产商；2013年承担国家“02-专项”，对高纯磷烷和砷烷电子特气进行研发，2016年-2017年实现技术和产业化突破，现已是国内该领域龙头；2019年收购飞源气体进军氟类特气，目前已是国内三氟化氮、六氟化硫头部供应商。
公司于2017年实现氢类特气产业化，2019年外购飞源开拓含氟特气，2021年新建大规模氟类特气，2017年-2022年特气业务营收年复合增速高达101.8%，营收占比从20%提高至76%，该业务毛利率始终维持在40%以上。公司是高壁垒电子耗材高纯磷烷、砷烷和MO源的龙头，且需求量最大的电子特气——三氟化氮产能规模领先；公司新建的大规模氟类电子特气项目预期在2023年-2024年投产放量。
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